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案例詳情
無塵室黃光區(qū)操作
日期:2024-12-23 01:20
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摘要:光學黃光區(qū)操作相關須知:
1、 濕度及溫度會影響對準工作,在黃光區(qū)應注意溫度及濕度,并應減少對準機附近的人,以減少濕、溫度的變化。
2、己上妥光阻,而在等待對準曝光之芯片,應放置于不透明之藍黑色晶盒之內, 盒蓋必須蓋妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區(qū)以免感光。
4、光罩使用時應持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣吹之。
光學黃光區(qū)操作相關須知:
1、濕度及溫度會影響對準工作,在黃光區(qū)應注意溫度及濕度,并應減少對準機附近的人,以減少濕、溫度的變化。
2、己上妥光阻,而在等待對準曝光之芯片,應放置于不透明之藍黑色晶盒之內,盒蓋必須蓋妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區(qū)以免感光。
4、光罩使用時應持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣吹之。